美国AJA ATC-E 系列电子束蒸发镀膜系统

AJA国际公司的蒸发镀膜系统有三种不同的型号：ATC-E, ATC ORION-E （比ATC和ATC Orion 更高的型号）和PVDX（一种穿墙箱镀膜装置）。这些设备都能在有限的预算下实现性能和质量的化。这些设备沿用了许多ATC & ATC ORION 溅射设备的设计特点和通用部件，且都适用于HV高真空和UHV超高真空，还能配置单槽或多槽，直线和旋转电子束蒸发源，热蒸发源，离子/等离子体蒸发源，克努森蒸发池（分子束外延系统），有机材料低温蒸发池，Radak 蒸发源，磁控溅射源。此外，这些系统还能配置预真空室，QCM石英晶体微天平监控和控制，加热或冷却的基片支架，行星齿轮，不同的泵组和自动控制装置。

AJA致力于研发生产薄膜沉积系统，包括磁控溅射系统，电子束蒸发系统，热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品Pai，开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源畅销世界，AJA国际公司不断突破自己，发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿，但从未被超越。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。

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