气体质量流量计(MFC)
FUJIKIN流量计T1000
供应气体质量流量计,主要品Pai有美国BROOKS,日本Fujikin。气体质量流量计具有:较高精度、快速响应、性价比高、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、太阳能电池等行业,还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求。
规格:
量程:10SCCM-500 SCCM,1SLM-50SLM
阀门种类:常闭
流量控制范围:2%-100%F.S.
流量精度:±1%F.S.
流量输出信号:0-5VDC
响应速度: ≦1sec
ZD压力:1Mpa
接口方式:1/4”VCR, 1/4”卡套
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