EMS1050低温灰化仪
EMS1050低温灰化仪通过等离子体与物体的相互作用,从而完成灰化、刻蚀、清洗等相关功能。EMS1050低温灰化仪是一款紧凑型小型实验室仪器,精确控制,操作简便,在众多研究领域得到广泛应用。如:1) 生物芯片领域2) 医用材料、光学材料研究3) 电子半导体领域4) 高分子材料研究5) 电化学、高端零部件处理6) 有机材料的灰化、刻蚀。
EMS1050低温灰化仪仪器性能:
o 自动调频高频发生器
o 内置旋转真空泵
o 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF) .
o 真空监测.
o 双重气流针阀控制
o 精确时间定时
o 微处理器程序设置
o LCD状态数字显示
o 抽屉式结构,样本操作方便
o 聚碳酸脂安全防护
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EMS1050低温灰化仪技术参数:
电镜有机样本的刻蚀尺寸
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450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
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工作腔室
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派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)
(硼硅酸盐玻璃为标准配置)
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重量
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25Kg
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等离子体输出
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ZD150w,13.56 MHz 。
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真空度
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>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
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时间控制
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最长可设置99小时59分钟
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双重气流控制
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双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
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电源
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230 V, 50Hz (3 amp Max)
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