应用领域:
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生物芯片领域
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医用材料、光学材料研究
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电子半导体领域
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高分子材料研究
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电化学、高端零部件处理
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有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能:
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自动调频高频发生器
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内置旋转真空泵
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此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀
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低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
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真空监测.
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双重气流针阀控制
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精确时间定时
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微处理器程序设置
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LCD状态数字显示
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腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便
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聚碳酸脂安全防护
技术参数:
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