PLUTO-ME 多功能PLUTO-ME定制型等离子表面处理系统

产品参数：

可定制不同规格的腔体，包括圆形（水平）；圆形（垂直），方形

可定制不同形状处理电极（阴极和阳极），包括垂直和水平的样品摆放方式

可定制不同材质的腔体，316不锈钢或者6061铝合金腔体

（我们坚持使用316不锈钢和6061铝合金材质，在保证腔体整体加工质量同时，也保证气体和射频发生器在真空状态工作时产生的等离子体的浓度和腔体提供保障）

样品温度控制

其他功能

应用领域:

污染物清洗

清洗玻璃、金属、陶瓷、塑料等材料表面的有机物及其他污染物

表面活化

利用等离子体轰击样品表面，改变样品表面张力和活性

镀膜

采用等离子断键功能的专用装置，将镀膜材料以纳米级厚度均匀覆盖样品表面

等离子体刻蚀

对半导体材料、集成电路板、PCB板、塑料制品等材料进行刻蚀

等离子体反应

特别的工艺手段和装置，可以实现等离子体与样品的化学反应，并得到相应物质

粉体处理

粉体专用装置，可实现纳米级颗粒的等离子体均匀处理，实现各项性能