PLUTO-30 多功能 PLUTO-30 等离子表面处理系统_详细资料

产品信息

PLUTO-30等离子体材料表面处理统

中小型 量产级 多功能

Pluto30参数
腔体
腔体尺寸
300W x 280H x 366Dmm
容量
30L
电极数量
最多可达层
电极
电极间隙
48mm
功率电极尺寸
226W x 210D mm
接地电极尺寸
260W x 210D mm
射频系统
射频功率和频率
300W/13.56MHz
气体控制
MFC控制器
标配1个MFC，最多4个MFC控制器
系统控制
7寸工业触控屏
全数字控制，实时显示工作状况，可设定操作权限和各种报警值，可储存工艺方案
真空泵系统
油泵
32m³/h
功率
220V/10A，50Hz，单相，3线
尺寸
外形尺寸
706W x 804D x 735H mm
特别装置
需求
工艺气体
0.25英寸. 气管快接.适用于 15-20psig;
净化气
0.25英寸. 气管快接. 适用于10-100psig
CDA
0.25英寸. 气管快接. 适用于60-90psig
排气接口
KF40
可选项
液体前驱体输送系统
500W/13.56MHz射频系统
37m³/h 干泵
排气洗涤器
油雾消除器

特征及优势

气体输送系统，提供气体分配均匀性和灵活的气体分配方法
不同工艺模式（RIE、下游等离子体等）的柔性电极配置
独特的射频系统提供ZY的工艺重复性和处理效率
全自动处理能力
图形用户界面支持配方编辑器、配方驱动流程并提供实时流程信息
台式设计需要较小的占地面积

典型应用

表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性：预压模粘合；预焊线粘合
增强表面胶体流动性：预成型；预倒装芯片下溢

表面粗糙度和蚀刻
降低表面应力，改善表面粘结性
灰化和表面清洁

Plasma等离子蚀刻（配备RIE配置)
电介质/III-IV材料

纳米涂层（配备液体前体输送装置）
耐水纳米涂层：印刷电路板表面处理
防腐纳米涂层：YL器械，YL植入物

您可能感兴趣的产品

Pluto30参数
腔体	腔体尺寸	300W x 280H x 366Dmm
	容量	30L
	电极数量	最多可达层
电极	电极间隙	48mm
	功率电极尺寸	226W x 210D mm
	接地电极尺寸	260W x 210D mm
射频系统	射频功率和频率	300W/13.56MHz
气体控制	MFC控制器	标配1个MFC，最多4个MFC控制器
系统控制	7寸工业触控屏	全数字控制，实时显示工作状况，可设定操作权限和各种报警值，可储存工艺方案
真空泵系统	油泵	32m³/h
真空泵系统	功率	220V/10A，50Hz，单相，3线
尺寸	外形尺寸	706W x 804D x 735H mm
特别装置需求	工艺气体	0.25英寸. 气管快接.适用于 15-20psig;
	净化气	0.25英寸. 气管快接. 适用于10-100psig
	CDA	0.25英寸. 气管快接. 适用于60-90psig
	排气接口	KF40
可选项	液体前驱体输送系统
	500W/13.56MHz射频系统
	37m³/h 干泵
	排气洗涤器
	油雾消除器