GH-15MH
机台整机规格2150(W)×1750(D)×2035(H)mm
真空室规格进口铝 1090(W)×1430(D)×950(H)
电极板规格进口铝1120D×660H mm
单层有效处理区尺寸1075D×620H mm
真空电极结构垂直电极板16层, 处理15层工件
真空泵系统爱德华底泵+爱德华罗茨泵
GH-15MH
机台整机规格2150(W)×1750(D)×2035(H)mm
真空室规格进口铝 1090(W)×1430(D)×950(H)
电极板规格进口铝1120D×660H mm
单层有效处理区尺寸1075D×620H mm
真空电极结构垂直电极板16层, 处理15层工件
真空泵系统爱德华底泵+爱德华罗茨泵