特性 P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
应用
• 光盘驱动测试 开闭环版本可选
传感器使用全桥配置已消除热漂移,使得该系列纳米定位台可以实现较高的线性度与重复度。
P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
型号 | 尾缀S-闭环 尾缀K-开环 | P66.X60S | P66.X60K | 单位 |
运动自由度 | X | X | |
行程(0~120V) | 48 | 48 | μm±20% |
行程(0~150V) | 48 | 48 | μm±20% |
传感器类型 | SGS | - | |
闭/开环分辨率 | 2 | 0.8 | nm |
闭环线性度 | 0.1 | - | %F.S. |
闭环重复定位精度 | 0.05 | - | %F.S. |
俯仰/偏航/滚动 | <20 | <20 | µrad |
推/拉力 | 160/16 | 160/16 | N |
运动方向刚度 | 2.8 | 2.8 | N/μm±20% |
空载谐振频率 | 1.3 | 1.3 | kHz±20% |
闭/开环空载阶跃时间 | 10 | 1.6 | ms±20% |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 200 | 200 | Hz±20% |
100%行程 | 20 | 20 |
ZD承载 | 6 | 6 | kg |
静电容量 | 7.2 | 7.2 | μF±20% |
材质 | 铝 | 铝 | |
重量 | 190 | 190 | g±5% |
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