PF系列压电物镜聚焦台_详细资料

产品信息

PF系列压电物镜聚焦台是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了扫描台JJ的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。
PF系列压电物镜聚焦台主要特点：

亚纳米的分辨率

高的带宽

高速响应

高的可靠性

压电陶瓷驱动

柔性铰链设计

电容位移传感器闭环反馈

双传感器设计

u  主要应用
  表面结构分析、自动聚焦系统、共聚焦显微镜、扫描干涉仪等。
■  技术数据

产品型号

PFV**-80U（小负载型）

PFV**-80U-S（小负载型）

公差

运动自由度

Z

Z

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围（@0~+120V）

80 μm

80 μm

±20%

zui大行程范围（@-20~+150V）

100 μm

100 μm

±20%

分辨率

2.5 nm

5 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.1% F.S.

typ.

承载能力

2 N

2 N

Max.

刚度

1.3 N/μm

1.3 N/μm

±20%

谐振频率

0g

330 Hz

330 Hz

±20%

静电容量

3.4 μF

3.4 μF

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围（推荐）1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m

1.5 m

±10mm

外形尺寸(LxH)

48×40×16.5 mm（不含适配器）

48×40×19 mm（不含适配器）

-

重量

150 g

150 g

±5%

本体材质2

钢（W）

钢（W）

-

说明：
1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用；长期使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。

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PF系列压电物镜聚焦台

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产品型号		PFV**-80U（小负载型）	PFV**-80U-S（小负载型）	公差
运动自由度		Z	Z	-
传感器类型		-	Strain Gage	-
标称行程范围（@0~+120V）		80 μm	80 μm	±20%
zui大行程范围（@-20~+150V）		100 μm	100 μm	±20%
分辨率		2.5 nm	5 nm	typ.
重复定位精度		-	0.05% F.S.	typ.
线性度		-	0.1% F.S.	typ.
承载能力		2 N	2 N	Max.
刚度		1.3 N/μm	1.3 N/μm	±20%
谐振频率	0g	330 Hz	330 Hz	±20%
静电容量		3.4 μF	3.4 μF	±20%
工作温度范围		-10~+70 ℃	-10~+70 ℃	-
驱动电压范围（推荐）1		0~+120 V	0~+120 V	typ.
线缆长度		1.5 m	1.5 m	±10mm
外形尺寸(LxH)		48×40×16.5 mm（不含适配器）	48×40×19 mm（不含适配器）	-
重量		150 g	150 g	±5%
本体材质2		钢（W）	钢（W）	-