PFV85-080U-S 压电物镜聚焦台

产品型号

PFV**-80U（小负载型）

PFV**-80U-S（小负载型）

公差

运动自由度

Z

Z

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围（@0~+120V）

80 μm

80 μm

±20%

zui大行程范围（@-20~+150V）

100 μm

100 μm

±20%

分辨率

2.5 nm

5 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.1% F.S.

typ.

承载能力

2 N

2 N

Max.

刚度

1.4 N/μm

1.3 N/μm

±20%

推力/拉力

110N / 15N

110N / 15N

typ.

谐振频率

0g

330 Hz

330 Hz

±20%

静电容量

3.4 μF

3.4 μF

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围（推荐）1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m

1.5 m

±10mm

外形尺寸(LxH)

48×40×16.5 mm（不含适配器）

48×40×19 mm（不含适配器）

-

重量

150 g

150 g

±5%

本体材质2

钢（W）

钢（W）

-