FM310/MT 质量流量控制器

一、应用领域
　　　质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
　　　FM310/MT质量流量控制器主要应用领域：半导体制造行业的气体流量控制；分析仪器设备的气体计量与控制；各种形式的真空镀膜设备；
　环境检测与分析设备；化工、石化、食品行业气体流量监测和控制；特种材料表面处理装置与燃烧控制；混气配气系统和泄漏探测系统等
　二、FM310系列质量流量控制器和质量流量计型号
　　　本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
　其中：FM310/MT型为高精度质量流量控制器
　　　　FM310型高精度质量流量计
　质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。 　执行Q/XCHBY001-2006企业标准
　三、FM310/MT系列质量流量控制器技术指标
　流量规格：( 0～5；10；20；30；50；100；200；300；500) mL/min(毫升/分钟)
　　　　　　( 0～1；2；3；5；10；15；20；30；50；80；100；120；150) L/min（升/分钟）
　调节阀类型：电磁调节阀
　调节阀静止位置：常闭
　准确度：±1.0% F.S
　线性：±1.0 % F.S
　重复精度：±0.2 %F.S
　响应时间：(1 ～ 10)S
　工作压差范围：(0.05 ～ 0.4) MPa
　耐压：3 MPa，可选10MPa
　工作环境温度：5 ℃ ～ 45 ℃
　材料：不锈钢316L
　标准密封材料：Viton﹑EPDM, 或其他
　漏率：﹤2×10-9m1/s He
　接头：Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok(或VCR)，
　　　　软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它
　电源：+15 V 50 mA； -15 V 50 mA
　外形尺寸：mm 134×134×38
　重量：kg 1.0
　技术指标附件
　质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
　质量流量的单位规定为：标准状态 ml/min(SCCM)
　　　　　　　　　　　　标准状态l/min(SLM)
　标准状态规定为：温度 --- 0℃
　　　　　　　　　气压 — 101325 Pa
　F.S (Full Scale)：表示满量程值
配套说明
　点击查看气体质量流量转换系数
　气体质量流量转换系数使用说明：

质量流量控制器/质量流量计出厂时一般用N2标定，实际使用中如果是其它气体，必要时可进行读数修正。方法是以流量显示仪的流量乘以 　流量转换系数。如是单组份气体,其转换系数可在我厂产品技术说明书查得；如果多组份气体（假定由n种气体组成）,请按下列公式计算其转换 　系数C： 　基本公式：C=0.3106N/p（Cp） 　其中：p为气体的密度 　　　　Cp为气体的定压比热 　　　　N为一固定系数（与该气体的组份有关） 　对于混合气体：N=N1(ω1/ωT)+N2(ω2/ωT)+…+Nn(ωn/ωT) 　导出公式： 　 　其中：ω1……ωn 为相应气体的流量 　　　　ωT………… 为混合气体的流量 　　　　ρ1……ρn为相应气体的密度（数值见附录一） 　　　　Cρ1……Cρn为相应气体的定压比热（数值见附录一） 　　　　N1…………Nn为相应气体的分子构成系数,取值见下表.