主要特征:l 桥架固定,工作台移动的固定桥式结构,为整机提供了更稳定可靠的精度基础,并确保高速运行时,振动对精度的影响小l 柔性同步带系统,兼顾了柔性啮合与刚性轴向传动的优点,确保高加速度时定位精度,从而提高运动的平稳性l 陶瓷Z轴、全花岗岩结构,为计量室环境下的测量提供了稳定的高精度l Z向采用了可调式气动平衡设计,提高了机器的动态性能,提升Z轴安全性l 标配温度传感器,自动补偿由于温度变化而引起的误差l Y向采用整体式燕尾导轨,提高了机器的精度和重复性l ZX驱动系统减少偏摆和扭转,Y向光栅安装于工作台的ZY,阿贝误差小l 机器框架采用花岗岩材料构成,厚重且稳定,显着提高了整机的刚性,并有效地减少了振动的影响l 采用HEXAGON高分辨率金质光栅,其热膨胀系数获得PTB认证。
规格型号与技术指标:
型号Rumba686Rumba8106Rumba10128行程(mm)X轴6008001000Y轴80010001200Z轴600600800空间尺寸(mm)Dx103612361436平台(mm)Ph350350350Py180020002200支撑(mm)Sx7408701000Sy1480530580Sy2640720790外形尺寸(mm)Lx176619762176Ly200522052405Lz308630863086承重(kg)400400600机器重量(kg)427649805637MPEe(μm)1.4+L/4501.5+L/3501.7+L/350MPEp(μm)1.81.81.8光栅尺分辨率(μm)0.039空间移动速度(mm/s)520空间移动加速度(mm/s2)1039流量/供气压力0.1m3min,>0.7MPa注:工作环境为温度(20±1)℃, 湿度为25%-75%