S49系列质量流量控制器(流量计)特点:
*采用主体不锈钢(316L)结构,与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高精度
*重复性好
*响应速度快、软启动、稳定可靠
*低压降
*工作压力范围宽(可以在高压或真空条件下工作)。
*操作使用方便,可任意位置安装
*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域:
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等
S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标
编号
项目
S49 33/MT
1
流量规格
(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10) L/min
(15,20,30) L/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止位置
常闭
4
准确度
± 1.0% F.S
± 2.0% F.S
5
线性
±1.0 % F.S,±2.0 % F.S
6
重复精度
±0.2 %F.S
7
响应时间
≤8 s(T95)
8
工作压差范围
(50 ~ 300) kPa; (10~30)L/min (100~300)kPa
9
耐压
3 MPa ﹑ 10 MPa
10
工作环境温度
5℃ ~ 45℃
11
材料
不锈钢316L
12
标准密封材料
Viton®﹑EPDM, 或其他
13
漏率
1×10-8 Pa.m3/s
14
接头
Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),
软管接头Ф4mm~Ф10mm 或其它
15
输入输出信号
0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
16
电源
+15 V 50 mA
-15V 200 mA
17
外形尺寸 mm
134×134×38
18
重量 kg
1.2
注意: S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量范围,供用户选择,也可根据用户提出流量定制。
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