1、特点及主要应用领域
质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）,用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点：
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：
半导体制造行业的气体流量控制；
分析仪器设备的气体计量与控制；
各种形式的真空镀膜设备；
环境检测与分析设备；
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；
特种材料表面处理装置与燃烧控制；
混气配气系统和泄露探测系统等。
2、S49系列质量流量控制器和质量流量计型号
S49 31 系列质量流量控制器，S49为质量流量控制器和质量流量计产品，31/MT为本公司此产品设计序列号。
其中：S49 31/MT 系列为质量流量控制器。
S49 31A/MT 系列为质量流量计。
质量流量计用于气体质量流量精确测量计量；质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体流量的功能。
执行Q/CYHMT001-2011企业标准
3、 主要技术指标
质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量单位为：标准状态mL/min （毫升/分钟） （SCCM行业标准）；
标准状态L/min （升/分钟）（SLM行业标准）。
标准状态为：温度----0℃；
气压----101325Pa
F.S(Full Scale):表示满量程值
表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标
编号 | 项目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量规格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
|
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
|
4 | 准确度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S) | |
5 | 线性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
6 | 重复精度 | ±0.2%F.S | |
7 | 响应时间 | (3～4)s | |
8 | 工作压差范围 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐压 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 工作环境温度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材料 | 不锈钢316L | |
12 | 标准密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用户指定 | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接头 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
15 | 输入输出信号 | 0V～＋5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) | |
16 | 供电电源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸如图二所示
图二 S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸
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