气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49系列质量流量控制器(流量计)特点：
*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高精度
*重复性好
*响应速度快、软启动、稳定可靠
*低压降
*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装
*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等
主要技术指标
质量流量控制器(流量计)出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: 标准状态 mL/min (毫升/分钟) (SCCM行业标准)
标准状态L/min （升/分钟） (SLM行业标准)
标准状态规定为:温度 --- 0℃
气压 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示满量程值
表1 S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 | 项目 | S49 33/MT |
1 | 流量规格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止位置 | 常闭 |
4 | 准确度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S |
5 | 线性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S |
6 | 重复精度 | ±0.2 %F.S |
7 | 响应时间 | ≤8 s（T95） |
8 | 工作压差范围 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa |
9 | 耐压 | 3 MPa ﹑ 10 MPa |
10 | 工作环境温度 | 5℃ ～ 45℃ |
11 | 材料 | 不锈钢316L |
12 | 标准密封材料 | Viton®﹑EPDM, 或其他 |
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s |
14 | 接头 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它 |
15 | 输入输出信号 | 0 V ～ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |
16 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA |
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 |
18 | 重量 kg | 1.2 |
注意： S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
