ALICAT MCV系列 气体质量流量控制器

性能

MCV质量流量控制器

描述

精度

±0.8% 的读数±0.2% 满刻度

在没有流量条件下校准

高精度选项

±0.4% 的读数±0.2% 满刻度

在没有流量条件下校准

重复性

±0.2%

满量程

操作量程

1%-100%的满量程

测量和控制

响应时间

100

毫秒（可调）

标准状态（STP）

25°&14.696PSIA

仅测量质量流量用

操作温度

-10～50

℃

零点漂移

0.02％

满量程/℃/Atm

量程漂移

0.02％

满量程/℃/Atm

湿度范围

0-100%

无冷凝

控制流量范围

102.4%

满量程

zui大耐压

145

PSIG

输入/输出数字信号

质量流量、体积流量、绝压和温度

RS-232或PROFIBUS

输入/输出模拟信号

质量流量

0-5VDC

可选输入/输出

第二路模拟

质量流量、体积流量、绝压或温度

0-5VDC,0-10VD或4-20mA

电气连接

8针或者DB-15

供电电压：质量流量计

12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA输出）

供电电流：质量流量计

0.300Amp

安装位置敏感度

无

预热时间

＜1

秒

阀泄漏率

1 x 10^-9标准大气压sccm/s 氦气zui大

接液材质

316L不锈钢；FFKM（Kalrez）标准； Viton®；EDPM；Buna一些气体所需的氯丁橡胶；质量流量控制器还附加303不锈钢，430不锈钢

1、  高精度选项不包括量程低于5sccm

2、  如果选择PROFIBUS通信，则没有模拟信号可选。PROFIBUS的设备不带显示，看PROFIBUS性能所需的供电电压和电流

3、  如您需要特殊材质，请Alicat公司咨询

满刻度MCV控制器

机械尺寸

过程连接

0.5SCCM -20SLPM

4.992”H x 6.710”W x 1.50”D

1/4” VCR 外螺纹