用于精确的测量气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽，大流量分流器不易堵塞等特点。
●量程：
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●准确度：
●线性：
±0.5～1% F.S
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