产品特性
1. 紧凑的结构
主要技术指标
| 型号 | LS-WPS100-SE | LS-WPS150-SE | LS-WPS200-SE | LS-WPS300-SE | |||||||||||||||
| 外形 | 580mm长* | 620mm宽* | 730mm高 | 600mm长* | 700mm宽* | 730mm高 | 660mm长* | 660mm宽* | 700mm高 | 1030mm长* | 820mm宽* | 730mm高 | |||||||
| 重量 | 约70公斤 | 约80公斤 | 约85公斤 | 约180公斤 | |||||||||||||||
| 电力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||||||||||||||||
| 样品台 | 尺寸 | 4英寸，可360度旋转 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 | ||||||||||||||
| X-Y行程 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | |||||||||||||||
| Z轴行程 | 6mm（快速切换）/6mm（微调） | ||||||||||||||||||
| 移动精度 | 10um/1um | ||||||||||||||||||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | ||||||||||||||||||
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | ||||||||||||||||||
| 针座平台 | U型平台，Z多可放置6个针座 | U型平台，Z多可放置8个针座 | U型平台，Z多可放置10个针座 | U型平台，Z多可放置12个针座 | |||||||||||||||
| 光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | |||||||||||||||||
| 显微镜移动精度 | 1um | ||||||||||||||||||
| 切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 | ||||||||||||||||||
| 放大倍数 | 16~100X/20~4000X | ||||||||||||||||||
| 镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X，10X，20X，50X，100X（选配） | ||||||||||||||||||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | ||||||||||||||||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||||||||||||||||
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||||||||||||||||
| 漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） | ||||||||||||||||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | ||||||||||||||||||
| 应用方向 | VCSEL芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。 | ||||||||||||||||||
高分辨率晶圆测试探针台
LS-WPS100-SELS-WPS150-SE 高分辨率晶圆测试探针台
空间分辨率达50微米晶圆厚度测量仪
校准标准高分辨率X射线衍射（200毫米晶圆）
高分辨率离子探针
FPCRIS-SPM 高分辨率扫描探针显微镜
SPM-8000FM 高分辨率扫描型探针显微镜
高分辨率AFM探针NanoSensors&NanoWorld&TeamNanoTec
VC3268P 真有效值钳形小功率计 有功功率真有效值相序1mA分辨率 VC3268P 真有效值钳形小功率计 有功功率真有效值相序1mA分辨率
HG31-BGK-FBG-8200 高分辨率光纤光栅分析仪 高分辨率光纤光栅分析装置
HR4000高分辨率光谱仪 HR4000高分辨率光谱仪
HR2000+高分辨率光谱仪 HR2000+高分辨率光谱仪
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