应用领域
化学品检测,石油/化工,地矿,能源,电子/电气/通讯/半导体
高分辨率晶圆测试探针台
1.紧凑的结构
2.兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
3.高等院校/研究所/工业用户实验室使用
4.可用于12英寸以内样品测试
5.精密丝杠传动结构，线性移动
6.无回程差设计
7.1微米以上电极/PAD测试
8.VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试
9.VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性测试
10.器件的高频特性测试（≥300GHz频率）
主要技术指标
型号 | LS-WPS100-SE | LS-WPS150-SE | LS-WPS200-SE | LS-WPS300-SE |
外形 | 580mm长* 620mm宽* 730mm高 | 600mm长* 700mm宽* 730mm高 | 660mm长* 660mm宽* 700mm高 | 1030mm长* 820mm宽* 730mm高 |
重量 | 约70公斤 | 约80公斤 | 约85公斤 | 约180公斤 |
电力需求 | 220VC, 50~60Hz |
样品台 | 尺寸 | 4英寸，可360度旋转 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 |
X-Y行程 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 |
Z轴行程 | 6mm（快速切换）/6mm（微调） |
移动精度 | 10um/1um |
样品固定方式 | 真空吸附 |
背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 |
针座平台 | U型平台，Z多可放置6个针座 | U型平台，Z多可放置8个针座 | U型平台，Z多可放置10个针座 | U型平台，Z多可放置12个针座 |
光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm |
显微镜移动精度 | 1um |
切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X |
镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X，10X，20X，50X，100X（选配） |
CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） |
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm |
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 |
漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） |
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 |
应用方向 | VCSEL芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。 |
沪公网安备 31011502008050号
