探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
CGO高低温真空探针台
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产品简介
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,CINDBEST针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
CGO探针台能够胜任的测试有:
序号 | 根据测试样品分类 | | 序号 | 根据应用分类 |
1 | 晶圆测试 | | 9 | 射频测试 |
2 | LED测试 | | 10 | 高低温环境测试 |
3 | 功率器件测试 | | 11 | 低电流(100fA 级)测试 |
4 | MEMS测试 | | 12 | I-v/c-v/p-iv测试 |
5 | PCB测试 | | 13 | 高压,大电流测试 |
6 | 液晶面板测试 | | 14 | 磁场环境测试 |
7 | 太阳能电池片测试 | | 15 | 辐射环境测试 |
8 | 材料表面电阻率测试 | | | |
CINDBEST CGO系列极高/低温真空环境探针台,开/闭循环制冷,标配控温范围:4.2K-480K,另可以根据客户需求订制。
应用领域
l 探针台应放在稳定可靠的台面上,Z好是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。
l 使用温度范围为5℃~40℃,湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。
l 使用电源:220±10%,50~60Hz
参数规格
规格 |
载物Chuck 温度范围: | 4.2K-500K(液氦) 78k-500K(液氮) |
控温精度 | 0.1K |
温度稳定性 | 4 K + - 0.2 K |
77 K + - 0.1 K |
373 K + - 0.08 K |
473 K + - 0.1 K |
823 K + - 0.2 K(可选) |
973 K + - 1.0K(可选) |
常温到8K冷却时间: | 1小时40分钟 |
8K到常温升温时间: | 1小时30分钟 |
从常温开始的升温时间 | 150 ℃ 250℃ 400 ℃ |
(4 chuck,分:秒) | 2:00 5:00 10:00 |
系统极限真空优于 | 1.2*10^-5 Torr |
电源 | 直流 |
材质 | 不锈钢 |
功率(4chuck) | 500W |
定位针臂 | 4个,可升级到6个 |
探针X-Y-Z三方向移动 | 行程:50mm,定位精度:5微米。可升级更高移动精度 |
载物chuck 尺寸 | 可以做到4英寸 |
双屏蔽同轴测试夹具 | 漏电精度100fA,可升级射频夹具 |
Chuck 平整度 | 5um |
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需求 |
电力 | 220 VAC, 60Hz |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
850mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜) |
重 100 Kg(带显微镜) |
可选附件 |
激光切割 |
探针卡夹具 |
加热台 |
防震桌 |
显微镜气动升降装置 |
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 |
光强/波长测试接口部件 |
射频测试探头和线缆 |
有源探头 |
低电流/电容测试 |
高压测试 |
CCD视频系统 |
液晶漏电分析套装 |
屏蔽箱 |
镀金Chuck |
配件
1、体式显微镜 (可选配高倍率晶相显微镜)
产品参数和特点
1. 鉴别力高,视场范围大,景深长。
2. 工作距离长至115mm。
3. 左右目镜屈光度可调正负5度,能满足不同视力的操作者观察。
4. 能随意调节手轮的力矩,满足不同操作者的使用习惯,更可以锁定手轮,方便定倍观察。
5. 本显微镜为连续变倍,变倍比为6.3:1 ,物镜变倍范围0.8X-5X。
6. 双目观察倾斜45度,双瞳距调节范围52-75mm.
产品优点:
产品造型比较新颖
机械特性优越,操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上,符合国际标准
超长的工作距离位于国内同行之首
独有的3A设计
创见性人机学设计,产品细节考虑全面。
3A特性:
密封性-------防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染-----这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域:
教学示范,生物工程,IT产业检测,材料分析等领域。
2、JVC模拟CCD
Figure 9: LN2-PP1 Dewar Lid and Pressure Relief Valve Detail
特点
l 1/3寸CCD,44万像素
l 535电视线的水平分辨率
l 0.7Lux的照度(F1.2,25%,AGC开启)
l 50dB的高信噪比(AGC OFF)
l 内置10bit 数字图像处理器
Winfast XP100视频采集卡
特性
l 可选择的影像来源信号
可以提供不同的输入端子,使其能够连接不同的影像
输出设备,如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、
影音光碟机及CCD摄影机,提供全方位的解决方案。
● 可编辑剪接影像片段
可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉,并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或一般的图形档,再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体,便可加入各种与剪接编辑。
3、探针夹具
● 管状式
测量微弱电流用,同时可接高压,采用进口triax线缆,前端管装屏蔽结构,漏电小于100FA,高压可耐1000V(需要配合屏蔽箱)
● 弹簧式
使用便利,可用于较短时间的大电流(超过1安培)稳定性好,采用进口同轴线缆,精度漏电为10PA,输出BNC(male)接头
4、美国GGB探针
型号 | 针尖直径 | 针杆直径 | | 针长 | | 材质 | 根/盒 |
软针类:适用于集成电路内部线路点针 |
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | | 51mm | | 硬钨材质 | | 5 |
| 0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | | 51mm | 硬钨材质 | | 5 |
| 0.7 微米针须焊接于镍质针杆上 | |
硬针类:适用于集成电路电极点针 |
ST-20-0.5 | | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬钨材质 | | 10 |
ST-20-1.0 | | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬钨材质 | | 10 |
ST-20-2.0 | | 5 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬钨/铍铜材质 | | 10 |
ST-20-5.0 | | 10 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬钨/铍铜材质 | | 10 |
ST-20-10 | | 20 微米 | 0.51mm | 38mm | | 硬钨/铍铜材质 | | 10 |
5、防震桌
特点:隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能良好。自动水平,自动充气,全部气动执行元件采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。
应用范围:适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。
技术参数:
台面为三层夹心蜂窝状支撑结构,采用ICR17优质高导磁不锈钢
平台表面粗糙度0.5〜0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有频率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重复定位精度±0.10 mm
工作压力0.2~0.6(Mpa)
具体尺寸可根据客户需求定制
6、探针臂:cindbestCB-80系列
特点
l 真空波纹管结构
l X-Y-Z 方向的移动行程分别为50mm
l 线性移动
l 精度5微米
l Triaxial (Female)高真空电信接口法兰
可升级到更高的移动精度
7、空气压缩机
规格:
l 电压:AC220V
l 功率:550W
l 流量:40L/min
l 转速:1380r/min
l 储气罐:8L
l 净重:14.5kg
功能
l 为防震平台提供压缩空气
特点
● 无油静音,特别适合实验室和洁净室使用。
● 7升/分钟,可24小时无间断运转。
8、高低温控制系统
l 两路PID温度控制
l 50W样品台直流加热
l 50W防辐射屏直流加热
l 温控范围:77K-500K(液氮),4K-500K(液氦)
l PID温度控制器分辨率:0.1℃
l 传感器温度误差:任何一区段 0.5%
l 包含三只硅二极管温度传感器:样品台,辐射屏,探针臂
9、爱德华分子泵组
l 抽气速率(N2):42l/s (采用NW40波纹管)
l 极限压力 5*10^-8 mbar
l 压缩比(N2):>1*10^11
10、40L液氮杜瓦罐
l 自增压
l 全不锈钢制造,容器强度高
l 可以调节压力和针阀精密流量控制
l 使用安全可靠、排液方便快速、静态液氮日蒸发率低
l 独特的罐体支架,罐体稳定性好
l 高强度大脚轮,移动更方便
l 双安全阀结构,确保产品使用安全
探针台的使用方法1、 打开真空腔盖,将样品固定到样品台ZX位置,然后盖上真空腔盖。
2、 检查真空腔体上所有真空阀门并确保都是处于关闭良好状态,启动真空泵。
3、 待真空度达到要求后,打开温度控制器,观察温度显示是否正常,如果正常进行下一步。
4、 打开液氮罐输液阀门,控制流量,让液氮缓慢流入样品台制冷腔,待温度降至基准温度后,调节温度控制器,设置目标温度,待稳定后进行下一步。
5、 将显微镜移到观察窗上方,调到倍率,调节焦距找到待测样品;逐步增大放大倍率,知道能清楚的观察待测样品的待测电极。
6、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
7、 确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试
注意事项
当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。
症状 | 可能原因 | 解决方法 |
移动样品后画面变模糊 | 显微镜不垂直 | 调垂直显微镜 |
样品台不水平 | 调水平样品台 |
样品不平 | |
显微镜像质变差 | 目镜脏 物镜脏 管镜脏 | 对目镜,物镜,管镜脏的地方进行清洁 |
孔径光栏关的太大或者太小 | 调节孔径光栏 |
没有调好焦 | 调节调焦手轮 |
样本上盖有盖玻片等介质 | 移开盖玻片等介质 |
图像一边清晰,一边模糊 | 样本倾斜放置 | 放平样本,或者调节样品台水平 |
物镜没有旋紧 | 旋紧物镜 |
眼睛容易疲劳 | 双目头的瞳距和操作者不匹配 | 调节双目头的瞳距 |
| 目镜视度调节不正确 | 调节目镜视度 |
| 照明亮度不合适 | 调节光源亮度或者孔径光栏孔 |
真空度变差 | 真空阀没有关闭良好 | 拧紧各真空阀门 |
密封圈损坏 | 更换密封圈 |
真空腔盖没有放置到正确位置 | 检查并校正位置 |
真空波纹管漏气 | 联系厂家处理 |
真空泵抽气管法兰安装不稳 | 拆下重新安装,拧紧法兰卡箍 |
维护和保养.1 避免碰撞
l 在安装,操作探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。
6.2 仪器的运输
l 仪器运输时,请先拔掉电源线插头。
l 仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。
6.3 仪器的存放
l 使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械精密部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。
l 探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。
l 探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用安全。
l 停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.
l 操作人员必须严格按要求操作,以保证数据的准确和仪器的正常使用。
售后服务流程
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