| 是否提供加工定制 | 否 | 品Pai | D07-19B 质量流量控制器（MASS FLOW CONTROLLER） |
| 型号 | D07-19B | 测量范围 | 5SCCM～30SLM |
| 测量精度 | ±1％F.S. | 产品用途 | 质量流量控制器 |
用 途:质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。标 准:气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：标准温度………………0℃（273.15K）标准压强………………101325Pa输入和输出:输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA输入设定电压…………0～+5.00V输出电压检测…………0～+5.00V技术参数：
满量程流量范围（N2） | 5SCCM～30SLM |
控制范围 | 2～100％F.S. |
阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） |
准确度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. |
线性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. |
重复精度 | ±0.2％F.S. |
响应时间 | ≤4sec |
工作温度范围 | 5～45℃ |
工作压差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
＞10SLM | 0.1～0.3MPa |
耐压 | 3MPa |
漏气率 | 1×10-9SCCSHe |
密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm |
电插头形式 | DB15 pin(Male) |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 0.95Kg |
沪公网安备 31011502008050号
