国家纳米科学中心承担多项极限纳米加工方面相关的国家科研项目。高质量纳米薄膜制备是纳米加工的核心技术之一，而前沿研究对薄膜均一性/致密性调控及其与极限尺寸/质量的纳米结构关联制备工艺匹配方面提出了更高要求。因此拟购置全自动真空镀膜设备，用于制备高均一性/致密性的金属及介质薄膜。该设备操作系统需支持全自动控制，工件台结构兼容8英寸及以下晶圆和厘米级碎片装卸，具有低的背底极限真空，具有除气-预清洁原位去除有机残留物/自然氧化层功能。