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中国计量科学研究院2024年5至10月政府采购意向
项目名称: 晶硅光学3D表面轮廓仪采购项目 品目 A02100302-光学计量仪器
公告时间: 20240304 预算金额: 120.000000万元(人民币)
采购单位 中国计量科学研究院 采购时间 202405
采购需求:
拟采购晶硅光学3D表面轮廓仪,测量范围:300*300mm,厚度测量分辨力不低于3nm,厚度测量精度不低于±0.2um。

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