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仪器网 产品库 中国计量科学研究院2024年5至10月政府采购意向
中国计量科学研究院2024年5至10月政府采购意向
项目名称: 大晶圆高真空物理气相沉积系统采购项目 品目 A02330300-电子工业生产设备
公告时间: 20240304 预算金额: 330.000000万元(人民币)
采购单位 中国计量科学研究院 采购时间 202405
采购需求：
拟采购大晶圆高真空物理气相沉积系统，采用低温泵+干泵组合，最低真空度5x10-8 Torr，Mag-keeper溅射靶枪，最低工作压强≤1mTorr。

本文来源: https://cp.yiqi.com/ycz/ydetail_20245553ea.html
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