4英寸迷你型探针台,适宜4英寸以内样品测试,可放置在手套箱使用,重量轻巧,方便实惠。PS:探针台属于非标产品,均可根据客户需求进行定制;
4英寸迷你探针台 Mini Probe Station |
类型 | 规格 |
Chuck(卡盘) | 尺寸:4英寸,圆形 |
材质:不绣钢(可升级镀金) |
旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1° |
X-Y移动行程:2" x3",移动精度:10um(可升级为1um精度) |
吸附孔:ZX孔径Z小可做到250微米,Z小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,能够吸住尺寸为4"X4" |
整体规格 | T型平台,轻巧方便。 |
平整度:5um,平台特殊处理,使得探针座吸附更牢固 |
外尺寸:500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜) |
重量:30KG(带显微镜) |
CS-4探针台规格 探针台 |
特点 | 类型 | 规格 |
*紧凑的结构,轻巧的重量; *结构设计合理,经济实用; *探针操作灵敏,直线度高; *便于维护; | Chuck(卡盘) | 尺寸:4英寸,圆形 |
材质:不绣钢(可升级镀金) |
旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1° |
X-Y移动行程:4" x4",移动精度:10um(可升级为1um精度) |
吸附孔:ZX孔径Z小可做到250微米,Z小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,能够吸住尺寸为4"X4" |
整体规格 | U型设计,可放置4个高端探针座,中端Z多8个探针座 |
平整度:5um,平台特殊处理,使得探针座吸附更牢固 |
尺寸:500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜) |
重量:50KG(带显微镜) |
选配: * Z轴升降行程:5mm,卡盘快速升降,方便更换样品,不会碰触到其他已调试好器件; * 卡盘镀金; * 搭配射频探针; * 视频CCD系统; * 防震桌; * 屏蔽箱; * 加热系统; |
4英寸高端探针台
ps:探针台属于非标产品,配置均由客户需求,进行定制...
4英寸高端探针台 | |
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特点 | 类型 | 规格 | |
*客户定制 *升级龙门结构,精度更高,操作更方便 *采用motic金相显微镜 *适合安装探针卡 *可加装加热台 *可升级做射频测试 | chuck(卡盘) | 尺寸:4英寸(6英寸,8英寸,12英寸可选) | |
材质:不锈钢(可镀金) | |
旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1° | |
X-Y移动行程:4" x4",移动精度:10um(移动行程可升级为6‘’x6‘’) | |
吸附孔:ZX孔径Z小可做到250微米,Z小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm | |
升降调节:8MM | |
显微镜系统 | 高解析度长工作距离显微镜 | |
显微镜 X-Y 平面移动范围4 英寸 x 4 英寸,移动精度≤1 微米(升级龙门式结构) | |
显微镜 Z 轴移动行程:50mm | |
加装500万像素高清CCD(配置软件,可对一般的几何图形进行测量和分析) | |
整体规格 | 尺寸:580*580*620mm(带显微镜) | |
重量:70KG | |
表面涂装:白色(黑色可选) | |
可选配件: 加热台、防震桌、屏蔽箱、高压夹具、高压探针、射频探针等 |