4英寸迷你型探针台，适宜4英寸以内样品测试，可放置在手套箱使用，重量轻巧，方便实惠。PS：探针台属于非标产品，均可根据客户需求进行定制；
| 4英寸迷你探针台 Mini Probe Station | |
| 类型 | 规格 |
| Chuck（卡盘） | 尺寸：4英寸，圆形 |
| 材质：不绣钢（可升级镀金） | |
| 旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1° | |
| X-Y移动行程：2" x3"，移动精度：10um（可升级为1um精度） | |
| 吸附孔：ZX孔径Z小可做到250微米，Z小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为4"X4" | |
| 整体规格 | T型平台，轻巧方便。 |
| 平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附更牢固 | |
| 外尺寸：500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜) | |
| 重量：30KG（带显微镜） | |
| 探针台
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| 特点 | 类型 | 规格 |
| *紧凑的结构，轻巧的重量； *结构设计合理，经济实用； *探针操作灵敏，直线度高； *便于维护；
| Chuck（卡盘） | 尺寸：4英寸，圆形 |
| 材质：不绣钢（可升级镀金） | ||
| 旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1° | ||
| X-Y移动行程：4" x4"，移动精度：10um（可升级为1um精度） | ||
| 吸附孔：ZX孔径Z小可做到250微米，Z小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为4"X4" | ||
| 整体规格
| U型设计，可放置4个高端探针座，中端Z多8个探针座 | |
| 平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附更牢固 | ||
| 尺寸：500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜) | ||
| 重量：50KG（带显微镜） | ||
| 选配： * Z轴升降行程：5mm，卡盘快速升降，方便更换样品，不会碰触到其他已调试好器件； * 卡盘镀金； * 搭配射频探针； * 视频CCD系统； * 防震桌； * 屏蔽箱； * 加热系统； | ||
ps：探针台属于非标产品，配置均由客户需求，进行定制...
| 4英寸高端探针台 | |||
| 特点 | 类型 | 规格 | |
| *客户定制 *升级龙门结构，精度更高，操作更方便 *采用motic金相显微镜 *适合安装探针卡 *可加装加热台 *可升级做射频测试 | chuck（卡盘） | 尺寸：4英寸（6英寸，8英寸，12英寸可选） | |
| 材质：不锈钢（可镀金） | |||
| 旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1° | |||
| X-Y移动行程：4" x4"，移动精度：10um（移动行程可升级为6‘’x6‘’） | |||
| 吸附孔：ZX孔径Z小可做到250微米，Z小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm | |||
| 升降调节：8MM | |||
| 显微镜系统 | 高解析度长工作距离显微镜 | ||
| 显微镜 X-Y 平面移动范围4 英寸 x 4 英寸，移动精度≤1 微米（升级龙门式结构） | |||
| 显微镜 Z 轴移动行程：50mm | |||
| 加装500万像素高清CCD（配置软件，可对一般的几何图形进行测量和分析） | |||
| 整体规格 | 尺寸：580*580*620mm（带显微镜） | ||
| 重量：70KG | |||
| 表面涂装：白色（黑色可选） | |||
| 可选配件： 加热台、防震桌、屏蔽箱、高压夹具、高压探针、射频探针等 | |||
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