直流磁控溅射镀膜装置◆ 用于磁控溅射法制备薄膜的基本原理教学工作;◆ 磁控溅射法制备金属膜、半导体膜、化合物膜、介质膜等薄膜。◆ 用户需自备或选配:冷却水系统、氩气(99.99%)、靶材等。
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