镀金X射线膜厚检测法仪器系统结构
镀金X射线膜厚检测法测量部分的结构
用于照射（激发）的X射线是采用由上往下照射方式，用准直器来确定X射线的光束大小。
样品的观察是利用与照射用的X射线同轴的CCD摄像机所摄制的图像来确定想要测量的样品位置。标准配备了多种尺寸的准直器可根据需要调整照射X射线的光束大小来决定测量面积，Z小可测量面积是40umф。
X射线操作部分（X-ray station）
Excel和Word是标准配置，利用这些软件，我们可以简单快速地进行测量数据的统计处理及测量结果报告书的编辑和打印。
仪器规格及参数
X射线管 | 油冷式超微细对焦点X射线管 靶材：钨（W）、铝（AL）、钼（MO） 管电压：0~50kv 管电流：0.1mA |
照射方式 | 由上往下垂直照射方式 |
检测器 | 正比例计数管（PC） |
仪器校正 | 密度校正，标准样品校正 |
检测滤片 | Co片，Ni片可选 |
准直器 | 固定型或自动型 |
固定型：可选0.1，0.2，0.3，0.4，0.05x0.3mm |
自动型：0.1，0.2，0.3，0.4，0.05x0.3mm |
输入电压 | AC220V |
温度控制 | 前置放大及主机温度控制 |
工作温度 | 室温（22~25℃） |
真空样品室 排气所需时间 | 没有 |
可测量元素范围 | 钛（Ti）—铀（U） |
可测量厚度范围 | 原子序：22-25,0.1-0.8um 26-40,0.05-35um 43-52,0.05-100um 72-82,0.05-5um |
测量时间 | 10~30s |
操作接口 | Windows XP |
