单轴压电扫描台/纳米平移台
AU-NPS-X系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,精度可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。
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单轴压电扫描台/纳米平移台
AU-NPS-X系列纳米定位工作台Z初的设计是为了满足超快速度和超精密的应用。纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。
全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。
对于大行程的纳米定位台,采用目前业内Z的双传感技术与以往相比可以提供更快的响应速度,提高有效载荷出现变化时的稳定性和更高的带宽。这项突破性的技术能够应用于各种袖珍模拟和数字控制器,其操作简便,为用户提供*性能。
公司的一维纳米定位工作台主要包含以下几款产品:
①超紧凑型闭环亚纳米微动台
AU-NPS-X-是一款已推出市面上体积Z小的闭环一微亚纳米级别的微动台。体积只有23 x 16.5 x 7.6 mm(长´宽´高)。应用电容位移传感器,位移分辨率达到亚纳米级别。空载下的自振频率更是高达8000HZ。采用铝合金材质,其拥有较轻的质量和高的刚度,使其有高的带宽,在Z大负载的情况下响应时间可达到亚毫秒级别。
②超快一维亚纳米定位平台
AU-NPS-X-10A是一款超快的一维亚纳米微动台,用于高速的、超精密的应用。该设备在空载下的自振频率高达9500HZ。在7g负载的情况下仍可达到8700HZ。并且该产品具有良好的位置重复性。拥有良好的响应速度,响应时间达到毫秒量级。并且该款产品可按照不同需求进行工业定制。
③超大行程的一维纳米微动台
AU-NPS-X-500A采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有较紧凑的体积,使用电容传感器,在整个行程中分辨率精度可高达亚纳米级别。使用双传感设计,可提供更快的阶跃响应,提高有效载荷出现变化时的稳定性,并拥有更大的带宽,使其拥有更快的响应时间。
④高负载大推力一维亚纳米微动台
AU-NPS-X-30B是一款高负载的微动台,Z高负载可高达10kg。其拥有极宽的带宽高达1KHZ。空载下的自振频率更是高达5000HZ。
除了以上几款产品AU-NPS-X-1/15D这两款亚纳米一维微动台也拥有优异的性能。外加负载可高达5kg。拥有较高的带宽,在50g负载的情况下,响应时间可达毫秒量级。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-1属于相同型号,但是具有更高的高度(15.5mm),因此拥有更高的刚度,因此具有较宽的带宽、较低的稳定时间和较高的自振频率。
u 主要特点
u 主要应用
磁头和磁盘驱动测试、计量学、干涉度量学、原子力显微镜等
u 产品主要参数
型号 参数 | AU-NPS-X- | AU-NPS-X-1 | AU-NPS-X-15D | AU-NPS-X-500A | AU-NPS-X-30B | AU-OEM-X-10A |
Material | Aluminium | Stainless steel 316 | Stainless steel 316 | Titanium & Aluminium Alloy | Titanium | Titanium |
Size | 23 long x 16.5 wide x 7.6 high | 60 long x 40 wide x 13.5 high | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 60 x 60 x 20 | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 62 long x 40 wide x 22 high |
Range (mm) | Minimum | | ± 7.5 | ± 7.5 | 500 | ± 15 | ± 5 |
Typical | 6.5 | ± 8 | ± 8 | | | ± 6 |
Maximum | | | | | | |
Resonant frequency: 0g load | Minimum | | 3000 HZ | 3500 HZ | 260 HZ | 4500 HZ | |
Typical | 8000 HZ | | | 5000 HZ | 9500 HZ |
Maximum | | | | | |
Resolution | sub-nanometer | 1 nm | sub-nanometer |
Maximum load | 5 g | 5 kg | 5 kg | 1 kg | 10 kg | 0.2 kg |
Position noise(1σ ) /nmrms | Fast | | 0.2 | 0.2 | | 0.12 | 0.05 |
Medium | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.09 | 0.07 |
Slow | | 0.05 | 0.05 | 0.04 | 0.1 |
Linearity error (peak)/% | Minimum | | | | | | |
Typical | 0.1 | 0.01 | 0.01 | 0.02 | 0.01 | 0.01 |
Maximum | 0.2 | 0.02 | 0.02 | | 0.02 | 0.02 |
| | | | | | | | | |