Z轴压电纳米平移台是一款小尺寸高速压电扫描台，扫描范围10μm×10μm，亚纳米分辨率，无负载自振频率高达1200Hz。结构紧凑，适用于扫描显微/原子力显微，以及空间受限，且需要做高频扫描的应用。
u Z轴压电纳米平移台 主要应用
磁头和磁盘驱动测试、计量学、干涉度量学、原子力显微镜等
u 主要特点
亚纳米的分辨率
高的带宽
高速响应
高的可靠性
结构紧凑
压电陶瓷驱动
柔性铰链设计
电容位移传感器闭环反馈
技术参数：
| 型号 | 3715263 |
| 尺寸(mm) | 40 x 40 x 30 |
| zui大负载(kg) | 0.5 |
| zui大推力(N) | 100 / 10 |
| 自重(g) | 180 |
| 运动轴 | X|Y |
| 闭环行程(µm) | 10|10 |
| 开环行程(µm) | 15|15 |
| 噪声值(nm) | 0.2|0.2 |
| | 3715263 |
| 刚度(N/µ) | 18.0|18.0 |
| 共振频率(Hz) | 1200|1200 |
| 稳态时间(ms) | 5|5 |
| 线性度(%) | 0.01|0.01 |
| 电容量(µF) | 0.5|0.5 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.402 |
| 材质 | Invar |
上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的高新技术企业，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等高端设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。 上海纳动纳米位移技术有限公司本着“创新引领，立足高端，精益打造纳米定位与运动控制ZG制造的国际品Pai“的目标，力求填补国内技术空白，打破国外对ZG的技术壁垒和国外产品垄断ZG市场的局面，为ZG智能装备产业和科研领域提供*运动和测控解决方案提供关键技术和打造坚实基础。
