欧瑞康莱宝真空的SC系列涡旋泵的主要技术参数为:
·可以提供抽速为5, 15,30和60m3/h的4款产品SC5D/15D/30D/60D; ·高极限真空,Z低可达0.01mbar; ·低噪声; ·低振动; ·允许进气压力大; ·重量轻; ·能耗低;
应用范围: ·电子束焊接; ·激光; ·检漏系统; ·加速器/同步加速器; ·表面分析仪; ·STM’s; ·ELMI; ·小型涡轮泵组; ·进样室;
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