Mag digital 昆山苏州无锡上海欧瑞康莱宝MAG digital 系列磁悬浮 分子泵

欧瑞康莱宝的Mag digital系列磁悬浮分子泵的

主要技术特点：

抽速： 830l/s ～ 3200l/s
五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达120℃。
转子及定片均采用莱宝技术的KAPLAR涂层
较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
叶片镀KAPLAR的转子较镀镍的转子重量更轻。
保护轴承为陶瓷轴承寿命长，无需更换保护轴承。
高真空端连接采用ISO-F，连接螺栓强度高，充分保障安全。
智能化电源，无需UPS。
带拖动级，前级耐压在2mbar以上。
分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
Z先进的数字控制技术
运行速度、温度可设置；
运行数据记录存储，提供多达180条运行信息；
磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
在气流长时间（2分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
控制器与泵无识别性，可互换。
免维护。

典型应用：
 
所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
科研领域
镀膜