隔振台（主动）+Herz+固润光电

主动隔振台

AVI-600 为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择，AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增大系统的承重（承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），AVI系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

产品特点

主动隔振频率 1Hz - 200Hz

• 被动隔振频率>200Hz
• 5-20ms的响应时间
• 安装简单，容易使用
• 稳定性高，能无故障连续使用多年
• 紧凑、模块化的多功能设计
• 控制器带数字LED显示屏

产品应用

• SEM                              
• TEM
• UHV-SPM                      
• 光刻
• 隧道显微镜                   
•  Fabry-Perot干涉仪
• 大型对振动敏感的仪器设备

性能优势 

• • 系统主动检测输入振动并动态消除
  • 六个空间方向的自由隔振
  • 系统内部反馈回路YZ所有机械共振
  • 低频隔振性能
  • 无低频共振、无空气要求

                   技术参数                                            

隔振范围                     主动:1-200Hz ;被动: >200Hz

传输率                        超过10Hz< -35 dB

模块尺寸                     W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模块重量                     60 KG / 132 Lbs
静态柔度(每个模块)
垂直方向                      约 12 μm / N
水平方向                      约 6 μm / N

系统噪声                     低于50nG/√Hz

耗电量                        通常情况下为27 W（标配）

输入电压                     90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸                 48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控                    通过在示波器上显示的一个多重信号表示各传感部位是否隔振

 AVI-600                  长x宽x高：11.3" x 28.4" x 4.5"              450kg/ 990lbs

AVI-600 Extra           长x宽x高：11.3" x 28.4" x 4.5"                510kg/ 1122lbs

AVI-600 Plus             长x宽x高：11.3" x 28.4" x 4.5"                570kg/ 1254lbs

AVI-600 Ultra            长x宽x高：11.3" x 28.4" x 4.5"                630kg/ 1386lbs

AVI-600 S                 长x宽x高：11.3" x 15.6" x 4.4"                450kg/ 990lbs

 兼容性：

AVI-600 work station 主动隔振台可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。