SA-12 量产型半自动/全自动探针台

这是Semishare研发团队历时数年精心研发的一款量产全自动高低温探针台，该探针台具有超高的测试精度和超快的测试速度，温控系统采用了世界的德国ERS的高精度高低温Thermal AC3 Chuck，温度范围可控于-60°C到 +200°C，温度精确度+/-0.1°C。定位精度可达+/-2um, 测试速度可达300mm/s, 而分辨率仅0.1um。具备自动上下料，自动晶片对齐，自动找晶圆ZX，自动测试diesize等功能，同时据有晶圆ID识别功能，可单点测试也可连续测试，测试软件功能丰富，在确保测试精度的同时具备超高的测试速度，为企业极大程度缩减了测试速度，大大提高了产能及效益。