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主要技术指标
质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量单位为：标准状态mL/min （毫升/分钟） （SCCM行业标准）；
标准状态L/min （升/分钟）（SLM行业标准）。
标准状态为：温度－－－－0℃；
气压－－－－101325Pa
F.S（Full Scale）:表示满量程值
表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标
| 编号 | 项目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
| 1 | 流量规格 | （0～5,10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min; （0～1,2,3,5）L/min | |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
|
| 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
|
| 4 | 准确度 | ±1%F.S（10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S） | |
| 5 | 线性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
| 6 | 重复精度 | ±0.2%F.S | |
| 7 | 响应时间 | （3～4）s | |
| 8 | 工作压差范围 | （0.05～0.3）MPa; （0.1～0.3）MPa（10～30）L/min | |
| 9 | 耐压 | 3MPa; 10MPa | |
| 10 | 工作环境温度 | 5℃～45℃ | |
| 11 | 材料 | 不锈钢316L | |
| 12 | 标准密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用户指定 | |
| 13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s （He） | |
| 14 | 接头 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok（或VCR）， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
| 15 | 输入输出信号 | 0V～＋5.00V （输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA） | |
| 16 | 供电电源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
| 17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
| 18 | 重量kg | 1.0 | |
S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点：
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：
半导体制造行业的气体流量控制；
分析仪器设备的气体计量与控制；
各种形式的真空镀膜设备；
环境检测与分析设备；
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；
特种材料表面处理装置与燃烧控制；
混气配气系统和泄露探测系统等。
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