EMS 550具有旋转样品台，可倾斜，适合各种样品。参数可预设，全自动控制保证获得精确的镀层厚度。低电压溅射、冷溅射、精细颗粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直径为165 mm（6英寸），非常方便装载及移走样品。 仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。 各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用
EMS 550本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。EMS500是EMS550的手动版本，其样品台不带自动旋转功能，其它参数与EMS550完全相同。下图为EMS550的外观图片：
| 仪器尺寸 | 450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H） |
| 工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H） |
| 安全罩 | 聚碳酸酯 |
| 重量 | 18Kg |
| 靶材 | 60 mm 直径 x 0.1mm 厚（金靶为标准靶材） |
| 样品台 | 60mm（Dia.） ，靶面距在25mm－45mm之间可调 |
| 真空泵工作范围 | ATM-1x10-2 mbar |
| 溅射电流 | 0-50mA |
| 溅射镀膜时间 | 0-4 minutes |
| 沉积速率 | 0-25nm/分 |
| 电源配置 | 230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump） |
| 货号 | 产品名称 | 规格 |
| 91000 | EMS 550 Sputter Coater complete with Target | 台 |
| 91000-MA | EMS 500 Manual Sputter Coater | 台 |
| 91005 | Rotary Vacuum Pump Targets 60mm （Dia.） x 0.1mm （Thick） fitted inclusive as standard | 个 |
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