电子显微镜制样设备：MSP-1S型磁控离子溅射仪

是否提供加工定制：	否	品Pai：	VACUUM DEVICE	型号：	MSP-1S
规格：	详情见下面产品描述	适用范围：	工业

用途：为SEM样品表面喷镀金属层。原理：利用磁控电极在低电压下离子溅射金属靶材。操作方法：将样品放入样品仓，根据镀层厚度设置喷镀时间，按动开始按钮后从预备排气到喷镀过程都将自动进行，喷镀结束后旋转泵自动停止，样品仓充入空气后可取出样品。产品规格： 1、仪器尺寸：长340mm*宽200mm*高350mm，台式设计内置旋转泵，重14kg. 2、样品仓尺寸：内径120mm*高度65mm，材质为硬质玻璃。3、靶材电极尺寸：直径55mm，永磁体内置磁控管型。 4、样品台尺寸：直径50mm，与阳极分离的浮动装配方式。 5、标准靶材：Au-pd，可选配的靶材：Au,Pt-Pd,Pt. 6、靶材到样品的距离：35mm，附带间距调节用的辅助台。7、电源：AC100V,10A,带接地线的3P插头。