规格说明 |
样品仓尺寸 | 120mm(直径)x 120mm(高)(4.75 x 4.75") |
靶材 | 标配Au靶,选配Au:Pd, Pt, Pt:Pd; 57mm(直径)x 0.1mm(厚) |
样品台 | 可放置12个标准SEM样品座;高度可在60mm内调节 |
溅镀优点 | 基于微处理器,安全联锁装置,可提供Z大40mA,可编程数字化控制 |
上盖 | 平面磁控管;快速更换靶材;四周由安全材料包裹 |
模拟计量 | 真空Atm - 0.001mb |
厚度监测器(选配) | 使用自动控制MTM-20高精度厚度控制器或MTM-10高精度厚度监测器(手动控制) |
控制方式 | 自动清气和漏气参数控制 全程监控 可选择手动操作 数字化计时(0-300 sec),可暂停 自动排气 |
控制台 | 真空泵安装在有防震装置的控制台下方 所有金属都安装了耦合系统,保证稳定性 |
需求 |
电源: | 200-240 VAC, 50/60Hz |
功率: | 300VA (包括镀金机和真空系统#7010) |
氩气: | 纯度, min. 99.99% 工作压力5-6 psi (0.4 bar) 管径, 6.0mm (1/4") |