适合SEM(扫描电镜)、FE-SEM(场发射扫描电镜)、TEM(透射电镜)。 EMS300R T 与EMS150R T相似,明显区别是EMS300R T腔室足够大,达到203mm,采用旋转真空泵抽真空;此外,它配备三个独立的溅射头,确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。(注意:既能溅射不易氧化金属,又能溅射易氧化金属,另见EMS300T T) 。
适合SEM(扫描电镜)、FE-SEM(场发射扫描电镜)、TEM(透射电镜)。 EMS300R T 与EMS150R T相似,明显区别是EMS300R T腔室足够大,达到203mm,采用旋转真空泵抽真空;此外,它配备三个独立的溅射头,确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。(注意:既能溅射不易氧化金属,又能溅射易氧化金属,另见EMS300T T) 。
特征参数
1、 可以进行超大样本(直径至203mm)的金属镀膜
2、 三个溅射头确保溅射沉积质量
3、 单靶材选择功能,可以进行小样本镀膜
4、 多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选
5、 选择装配膜厚监测仪可以精确控制膜厚
6、 全自动触摸屏控制,快速数字输入,操作简便
7、 可以储存不同用户的程序
8、 能够记录100个镀膜细节
9、 真空自动控制,且具有真空保持功能
10、 落入式样品台拆装方便(标配是旋转样品台)
11、 Z长60分钟不间断镀膜能力
12、 符合人体工程学的整体注塑机身
13、 电气符合CE要求
14、 三年质保
样品台
EMS300R T有多种型号的样品台可以选择,用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便,样品台除了行星台外其高度均可调,旋转速度在预设范围内实现可调。
- 扁平样品台,用于晶圆的镀膜(152mm-203mm),标配
- 旋转样品台,50mm,不能倾斜
- 旋转倾斜样品台,50mm,高度可调(靶材与样本之间的距离在30-80mm之间可调),倾斜角度在0-30度之间
- 用于拨片的旋转台
加高腔室:需要时可以得到(付费)
仪器参数:
仪器外形尺寸 | 585mm W x 470mm D x 410mm H (total height with coating head open: 650mm) |
重量 | 36.4kg |
包装尺寸 | 725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg) |
工作腔室 | 高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H |
安全保护 | 整体PET套筒 |
显示 | 145mm x 320mm x 240mm TFT彩显 |
使用者界面 | 直观的图形界面,触摸键。记忆功能:维护提醒及100个镀膜方案日志记录 |
溅射靶材 | 标配三个57 mm Ø x 0.1 mm金靶 (SC502-314A) |
真空
旋转真空泵 | 50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separately, 91005. |
真空监测 | 皮拉尼测量 |
极限真空度 | 洁净系统可达 2x10-2 mbar,充氮气 |
样品台 | 标配晶圆样品台,152mm-203mm,旋转速度可调。 |
溅射 | 根据镀膜厚度或内置的计时器,溅射电流范围在0-80mA ,Z长溅射时间不超过60分钟 |
其它重要信息
需要气体 | 氩气 99.999%,氮气可选(排气时需要) |
电源 | 90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power. (注意电压的选择) |
电气标准 | 符合电气CE认证要求 |
订购信息:
货号 | 产品 | 规格 |
EMS300R T | EMS300R T 大样品离子溅射镀膜仪Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater, fitted with three sputtering heads to ensure even metaldeposition. Include three 57mm Ø x 0.3mm gold (Au) sputter targets. A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafers is fitted as standard | EACH |
91005 | 爱德华旋转真空泵(单独购买)Edwards RV5 90L/s two-stage rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter | EACH |