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离子溅射镀膜仪
什么是离子溅射镀膜？在阳极与阴极之间使用合适的气体（常用的是氩气）和电压，当出现辉光放电时，阴极材料在气体离子的轰击下将侵蚀目标材料，其结果是溅射出来的原子（阴极材料）将在样本（通常样本固定于阳极上）表面形成一层薄膜，均匀分布在样本的表面，这个过程就叫离子溅射镀膜。
阴极材料通常使用金，习惯称之为金靶，故离子溅射镀膜仪常常又称喷金仪、离子溅射镀金仪、离子溅射喷金仪等等。
EMS公司提供系列产品，型号有EMS500、EMS550、EMS575X、EMS575T、EMS650、EMS650T、EMS675、EMS3000等等，下面我们将一一列出传品的详细参数供大家选择使用。
一、EMS550和EMS500
EMS 550具有旋转样品台，可倾斜，适合各种样品。参数可预设，全自动控制保证获得精确的镀层厚度。 低电压溅射、冷溅射、细颗粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直径为165 mm（6英寸），非常方便装载及移走样品。 仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。 各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用户使用要求。 溅射参数可预设，包括气体放气针阀（此阀为电磁阀），一旦设置，就不需要再调节。溅射头互锁，系统可选配EMS250镀碳附件。
EMS 550本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。EMS500是EMS550的手动版本，其样品台不带自动旋转功能，其它参数与550完全相同。下图为EMS550的外观图片：
性能特征： · 旋转且可倾斜样品台 · 高质量镀层厚度（2nm 金膜）. 精确的可重复性能 均匀沉积厚度 复合样本固定器 · 全自动控制 低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台 低压溅射 20nm（或20埃） 微电子控制 聚碳酸脂安全壳体
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二、EMS575 HIGH RESOLUTION SPUTTER COATER（EMS575X和EMS575T） EMS-575T是一款涡轮泵双头高分辨率喷金仪。EMS-575T样本放置在旋转样品台上（the rotary stage），盖好盖子（the chamber lid），按下启动按钮，涡轮分子泵开始加速，5秒钟后，机械泵开始启动，同时十秒气体排空程序启动，两个泵同时运行确保一个高真空。当涡轮泵加速，它的速度由柱状图来标示，到达速度的一半时，真空计扭至自动状态。当腔内气体压降为10-4 mbar，排气开始，腔内气压维持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之间，排气的Z后阶段，靶材按照预订镀膜时间开始喷镀。镀膜需要两种不同金属的，不需要关泵，继续溅射另一种金属。喷镀完成后，两个泵停止，排气阀排气。 仪器质保期2年。模块化的单元结构使得仪器维护方便，摘掉问题模块，换上无问题的模块，仪器即可很好的运行，一点不会耽误实验进程。 性能特征： · 全自动一键式操作，微处理器数字控制方式，可预设参数 · LCD屏实时显示状态参数 · 质保期：标准保修期为一年 · 高分辨率精细镀层（不超过0.5nm的铬颗粒大小） · 薄金属镀层，典型5nm厚 · 涡轮分子泵 · Peltier冷却双溅射头，无需冷却水 · 双溅射头：一次真空条件下，可顺序溅射两种不同的材料，对于需要依次喷镀两种金属的样品特别适用 · 磁控溅射靶源设计 · 旋转机械泵为备用泵，机械泵为外部安装式
仪器参数：
EMS 650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，Z佳的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得精确的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制独立的真空泵。EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。
性能特征： 全自动控制 低能冷却系统（（功率是6W） 低电压溅射（100V，DC;每分钟温度升高不到2°C） 镀膜厚度精确（2nm金粒） 精确的可重复性 镀膜厚度20nm或200A（扫描电镜） 微电子控制 三个靶台同时溅射 聚碳酸脂安全外壳 产品参数：
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