EMS300TD 双溅射头大腔室分子泵离子溅射镀膜仪（通用仪器）

    双溅射头大腔室分子泵离子溅射镀膜仪（通用仪器）的腔室直径达到300mm，高度127mm；双头设计，可连续溅射2种不同的金属；全自动控制、涡轮分子泵，适合于薄膜应用和SEM样本导电镀膜之需要。

• 全自动触摸屏控制，快速数字输入，操作简便
• 双溅射头—可按照顺序溅射两种不同的金属
• 用户自定义镀膜方案
• 靶材可选易氧化和不易氧化金属
• 的镀膜颗粒适用于更高端的FE-SEM应用
• 大腔室（可选购加高腔室）
• 镀膜日志-记录Z后100条镀膜参数
• 双通道膜厚监测可选
• 高真空涡轮分子泵
• 自动真空控制
• 真空闭锁功能
• 60分钟溅射不间断溅射
• 人体工程学设计的整体成型机壳：易维护和易拆装
• 带有本地FTP服务器连接的以太网端口：简单的程序更新
• 设有功率因素补偿，有效利用电能，降低运行成本
• 符合当前电器法规（CE认证）
• 3年质保

基本信息：

    1·工作腔室：283mm（内径）*127mm（高）硼硅酸盐玻璃腔室，并带整体安全防护罩

    2·触摸屏用户界面：145 mm x 320 mm x 240 mm，带有触摸按钮的全图像界面，包含多达一百个镀膜程序，可提醒何时需要维护

    3·样品台：水平旋转直径102mm圆片

    4·真空系统：皮拉尼真空计作为标配（全量程真空计可以选购），极限真空可达10^-5mbar

    5·涡轮分子泵：带有内部空气冷却的涡轮分子泵，抽速为70L/s

    6·旋转机械泵：抽速为50L/m的两级旋转机械泵

工艺参数：

    1·溅射：0-80mA。可预设膜厚（需FTM选项）或使用内置定时器。

    2·气体：溅射工作气体氩气，99.999%；氮气，放气破真空气体（可选）

    3·电源需求：90-250V~50/60Hz 1400VA 包括旋转机械泵；尺寸：仪器机箱585mm宽*470mm*410mm高（总高710mm）

    4·仪器总重量：36.6KG

    5·溅射靶材和碳耗材供应：直径57 mm Ø x 0.3 mm的铬靶（Cr）和57 mm Ø x 0.1 mm的金靶（Au）作为标配。

订购信息：