快速而简易的镀膜方式(抽真空-》等离子镀膜-》卸真空)无损低电压镀膜样品装载尺寸-Max.50mmTarget Material-Au(Glod),Pt(Platinum)180(W)*310(D)*310(H)mm/15kg
样品室尺寸
Φ120mm x 65mm
Target Electrode Size
Φ55mm
靶材
Au
样品台直径
Φ50mm
样品台内径
Φ35mm
靶材使用寿命
700次 ~ 1000次
设备外型尺寸
180(W)x310(D)x310(H)mm
设备重量
15kg
电源
AC220V ±10%, 50/60Hz
主体一台
标配金靶材1EA
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